测量范围

薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10

测量厚度最小示值（nm）

≤1

偏振器方位角范围

0°- 180°读取分辨率为0.05°

偏振器步进角

0.014°/步

测量膜厚（nm）

±1

折射率重复性精度

±0.01

度盘刻度

每格1度

仪器测量精度（nm）

±0.5（薄膜厚度在10-100nm时）

入射角调节范围

20°～90°精度为0.05°

入射光波长（nm）

632.8

光学中心高（mm）

80

允许样品尺寸（mm）

φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15

外形尺寸（mm）

590*390*320

主机重量（kg）

28

型号

名称

数量

基本配置

TPY-2

椭圆偏振测厚仪主机

1台

TPY-2

主机电控箱

1套

二氧化硅膜样片

1片

TPY-2

椭圆偏振测厚仪专用软件

1套

需另配

计算机及打印机

1套